表 藍寶石CZ法KY法VHGF法工藝比較一覽
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NO. |
項目 |
Cz法 |
Ky法 |
VHGF法 |
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1 |
加熱型式 |
電磁感應式 |
電阻式 |
電阻式 |
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2 |
使用坩堝材料 |
銥坩堝 |
鎢坩堝 |
鎢坩堝 |
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3 |
使用熱場型式 |
氧化鋯或石墨碳纖材 |
鎢鉬材料 |
石墨碳纖材 |
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4 |
目前使用最多區(qū)域 |
日,韓,臺 |
俄羅斯 |
韓(STC1家) |
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5 |
可制造最大晶體 |
6吋晶棒(A或C軸) |
90KG晶柱(A或C軸) |
6吋方型晶體 |
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6 |
設備穩(wěn)定性 |
優(yōu) |
極差 |
N/A |
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7 |
晶棒良率 |
高 |
低 |
N/A |
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8 |
自動化程度 |
高 |
低 |
N/A |
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9 |
人員需求 |
少(3~5臺/人) |
多(1~2臺/人) |
N/A |
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10 |
市場使用 |
多 |
多 |
少 |
來源：51報告在線行業(yè)研究中心整理
表 藍寶石CZ法KY法成本比較一覽
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NO. |
項目 |
單位 |
Cz爐 |
一般傳統(tǒng)Ky爐 |
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1 |
charge |
sizekg/run |
30 |
30 |
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2 |
坩堝 |
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銥坩堝(劣)※注 |
鎢坩堝 |
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2 |
可取晶棒直徑 |
吋 |
2"~8"(優(yōu)) |
2"~4" |
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3 |
生產(chǎn)時間 |
天/run |
6(優(yōu)) |
14 |
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4 |
2"產(chǎn)能 |
mm/月 |
3000~3200(優(yōu)) |
2000~2500 |
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5 |
單位生產(chǎn)成本 |
USD/mm |
4.5~6(優(yōu)) |
6~8 |
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6 |
調機時間 |
月 |
1.5~2.5(優(yōu)) |
5~6 |
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7 |
單位使用功率 |
KW/hr |
35~45(優(yōu)) |
60~70 |
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8 |
耗電量 |
KWH/run |
4500~6500(優(yōu)) |
18000~25000 |
※ 銥為貴金屬銥坩堝后續(xù)可回收故不屬耗材，長期使用比鎢坩堝(耗材)合算。
來源：51報告在線行業(yè)研究中心整理
表 藍寶石HEM法KY法 CZ法EFG法特征一覽
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特征 |
HEM法 |
KY法 |
CZ法 |
EFG法 |
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晶錠外形規(guī)則，更高的產(chǎn)品良率 |
YES |
|
YES |
YES |
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固定方式長晶，高品質的材料生長 |
YES |
YES |
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自上而下長晶，氣泡易排出 |
YES |
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穩(wěn)定的溫梯，最小的對流 |
YES |
|
YES |
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